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真空計的分類及其適用量程范圍

壓力測量中,除極少數直接測量外,絕大多數是間接測量。就是先在被測氣體中引起一定的物理現象,然后再測量這一過程中與壓力有關的物理量,進而設法確定壓力值。這是真空測量的特點,亦會造成某些問題?! ?、真空

壓力測量中,除極少數直接測量外,絕大多數是間接測量。就是先在被測氣體中引起一定的物理現象,然后再測量這一過程中與壓力有關的物理量,進而設法確定壓力值。這是真空測量的特點,亦會造成某些問題。

  1、真空計(Vacuum gauge)是測量低于一個大氣壓力的氣體或蒸氣壓力的儀器。

  2、真空計是從真空計本身測得的物理量直接計算出(或得出)壓力的儀器。

  3、相對真空計則是必須經過真空計的校準之后才能進行真空度的測量。

  任何具體物理現象與壓力的關系,都是在某一壓力范圍內才較顯著,超出這個范圍,關系變得弱了。因此,任何方法都有其一定的測量范圍,這個范圍就是真空計的“量程”。盡可能擴展每一種方法的量程,是真空科學研究的重要內容之一。近代真空技術所涉及到的壓力范圍寬達19個數級(105~10-14 Pa),沒有任何一種真空計能測量如此寬的壓力范圍,因此總是用幾種真空計分別管轄一定的區域。但由于各種真空計在原理上的差異.在相互銜接的區域,往往要造成較大的誤差。由上觀之,為改善真空計性能及提高真空測量準確度,必須突出主要現象,抑制寄生現象。表1給出一些真空計的壓力測量范圍。

  在較高壓力時(105~1Pa)利用壓力差U型管壓力計,麥克勞真空計,薄膜計,彈簧管壓力計等。 在103~10-2 Pa的中間壓力范圍,利用氣體性質(熱傳導,粘性)的變化而做成的皮氏計、粘性真空計。在低壓力時,使用將氣體分子電離而測量的電離真空計。

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真空計的分類及其適用量程范圍 2017-11-27 本文被閱讀 4566 次
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